ラック&ピニオン式ステージによるチップ表面検査装置

半導体メーカーの外観検査工程における検査装置の改善事例です。

課題：ズームレンズのピント合わせに時間がかかっていました。

チップやトレイが変わるたびに、ズームレンズのピント合わせが必要です。

ズームレンズの位置（X・Y）出しにボルト４本、高さ（Z）出しにボルト2本を緩めて締め直すセッティング作業があり、非常に時間がかかっています。

解決！ ラック&ピニオン式ステージを3軸に配置、ズームレンズのピント合わせが簡単に！

ＸＹ軸、Ｚ軸、3軸それぞれのハンドルでズームレンズの位置を決め、ピント合わせを行います。ピントを合わせたら、各軸ステージのストッパーで位置を固定します。

それまでの作業で必要だった、3軸で合計6本のボルトの付け外しがすべて不要になり、作業時間も大幅に短縮できました。

薄型ラック&ピニオン式ステージ(XSO-80/ZSO-50)の特徴

• アリ溝の摺り合わせ技術で薄型・滑らか摺動・高品質・高耐久性を実現しました。
• ハンドル形状、目盛板、ストッパー形状、Z軸ブラケット等を自由に選択できます。
• ステージ面　40mm x 80mm (ZSO-50は30mm x 50mm)
• 移動量　±32mm　(ZSO-50は±17mm)
• ステージ本体：アルミ合金製（スケルトンステージ除く、XYステージ 他 全ステージ共通）
• 表面処理 ： 梨地黒アルマイト