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"XYZ軸ステージ" タグの付いた記事一覧

ラック&ピニオン式ステージによるチップ表面検査装置

2012年11月23日

半導体メーカーの外観検査工程における検査装置の改善事例です。

課題:ズームレンズのピント合わせに時間がかかっていました。

チップやトレイが変わるたびに、ズームレンズのピント合わせが必要です。

ズームレンズの位置(X・Y)出しにボルト4本、高さ(Z)出しにボルト2本を緩めて締め直すセッティング作業があり、非常に時間がかかっています。

解決! ラック&ピニオン式ステージを3軸に配置、ズームレンズのピント合わせが簡単に!

XY軸、Z軸、3軸それぞれのハンドルでズームレンズの位置を決め、ピント合わせを行います。ピントを合わせたら、各軸ステージのストッパーで位置を固定します。

それまでの作業で必要だった、3軸で合計6本のボルトの付け外しがすべて不要になり、作業時間も大幅に短縮できました。

薄型ラック&ピニオン式ステージ(XSO-80/ZSO-50)の特徴

  • アリ溝の摺り合わせ技術で薄型・滑らか摺動・高品質・高耐久性を実現しました。
  • ハンドル形状、目盛板、ストッパー形状、Z軸ブラケット等を自由に選択できます。
  • ステージ面 40mm x 80mm (ZSO-50は30mm x 50mm)
  • 移動量 ±32mm (ZSO-50は±17mm)
  • ステージ本体:アルミ合金製(スケルトンステージ除く、XYステージ 他 全ステージ共通)
  • 表面処理 : 梨地黒アルマイト

支柱取付式ステージによる深穴測定治具

2012年11月20日

家電メーカーの受入れ検査工程での測定作業性と測定精度の改善事例です。

課題:座グリの深さが上手く測れません。測定値にバラツキがあります。

ノギス(デプスバー)を使って製品の座グリ深さを測定していますが、ノギスが傾いてしまうために、測定するたびに測定値が違います。測定者によっても差が出てしまいます。

解決! 支柱取付式ステージにノギスを取付け、測定値のバラツキを低減!

ノギスが傾かないよう、支柱取付式ステージにノギスを取り付けました。ステージのZ軸でノギス本体を穴の口元に合わせ、ノギスのデプスバーを下げて測定します。

X軸とY軸も摺動するので、ワークが変わっても対応可能です。また支柱取付け式なので、ステージ全体の向きも可変できます。

支柱取付式ステージ(PS-3BC)の特徴

  • 3軸全てにストッパーを装備しています。
    (X軸はシングルクランプ付、Y軸・Z軸はダブルクランプ付です。)
  • XYZ(3軸)のハンドルと支柱固定のハンドルを同じ側面に揃え、良好な操作性を実現しました。
  • ステージ面 30mm x 50mm
  • 移動量 ±17mm
  • 耐荷重 14.7N ( 1.5 kgf )
  • ステージ本体:アルミ合金製(スケルトンステージ除く、XYステージ 他 全ステージ共通)
  • 表面処理 : 梨地黒アルマイト
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