多機能送りねじ式ステージによる基板測定装置

基板メーカー様における、パターン測定の作業効率改善事例です。

課題：基板のパターン測定をしていますが、測定数が増えず問題でした。

基板を専用ステージにセットして、1個ずつ測定しています。1つ測定するたびに基板の付け外しを1個ずつ行う必要があり、とても非効率的でした。また、何度もレンズを覗きなおすため、作業者の目にも負担が大きく困っていました。

解決！ 多機能送りねじ式ステージでまとめて測定し、測定数が増加！

専用ステージを多機能送りねじ式ステージ変更して、3個ずつ測定できるように改良しました。基板の付け外しや測定が3つ連続でできるようになったため、測定数の増加につながりました。

さらに、長いストロークを正確なピッチで滑らかに摺動できるステージなので、顕微鏡を覗いたままステージを動かして続けて検査できます。そのため、作業者の目の疲労も、かなり軽減されました。

多機能送りねじ式ステージ（XTSC-150）の特徴

• 長いストロークを規則的なピッチで滑らかに摺動します。スリム形状なので、狭いスペースでの使用に最適です。
• ハンドル１回転の移動は 5mm 又は 10mm で、使用用途に合わせて選択できます。
• ステージ面　25mm x 40mm
• 移動量　±57mm
• 耐荷重　29.4N(3kgf)
• ステージ本体：アルミ合金製（スケルトンステージ除く、XYステージ 他 全ステージ共通）
• 表面処理 ： 梨地黒アルマイト