半導体ウエハーの搬送に利用されているエアーピットの海外事例～ 上海常极精密机械有限公司 様 ～
真空ピンセット <エアーピット>使用例
上海常极精密机械有限公司様は、（株）ミラック光学の中国代理店です。顕微鏡やレンズ、アリ溝式ステージも取り扱って頂いておりますが、今回は中国の半導体メーカーに納入してくれているワンタッチエアーピット（真空ピンセット）の使用事例について、戴社長様にお話しを伺いました。
- ■上海常极精密机械有限公司の課題
- 中国には半導体メーカーが多く、ウエハーの取扱いに使用する真空ピンセットは高い信頼性が求められ、安価なだけでなく高品質の真空ピンセットを供給してほしいとのユーザーニーズが多い。
- 真空ピンセット本体とフレキシブルに取付交換ができる、ラインナップ豊富な吸着アタッチメントがほしい。
- ◎これで解決!!
- ミラック光学製のワンタッチエアーピットを使うことで、Pタイプ・N/Oタイプ、そして本体が短いショートタイプなど、使用条件や用途に応じた選択ができて、使い勝手が良くなった。
- 高品質で耐久性に優れ長持ちするため、お客様に大変好評。
- ウエハー用吸着アタッチメントは、ミラック光学純正のほかに、中国で市販されている安価なウエハー専用の高機能樹脂成型品も装着できるため、ラインナップが多種多彩になってお客様に喜ばれている。
中国におけるウエハー用真空ピンセットの需要
- 村松：
中国には、ウエハー用真空ピンセットを製造する国産のメーカーはありませんか？
- 戴社長：
もちろん何社か存在します。しかしながら、品質における信頼性に欠け、使用頻度の多い現場では1ヶ月も経たないうちに空気漏れの故障や、真空ピンセット本体が壊れてしまう事例もありました。
その点、ミラック光学製のエアーピットは高品質で耐久性に優れているので、自信を持ってお客様にお勧めし、販売することができます。
- 村松：
ありがとうございます。海外でも評価して頂けるのは、とても光栄なことです。
ところで、中国の半導体メーカーからは、ほかにどんな要求が多いですか？- 戴社長：
高価な半導体ウエハーの取り扱いに使用しますので、確実な吸着が求められます。
また、ウエハーのサイズによってもフィット感が異なりますので、吸着アタッチメントの種類の豊富さも重要になります。- 村松：
弊社のエアーピットは微小部品用としては強みを発揮しますが、ウエハー用に使えるアタッチメントが少なく、そこが弱点になりませんか？
- 戴社長：
確かにミラック光学さんの種類だけでは少なく、半導体メーカーの要求に応えきれません。しかし、中国では多種多彩なウエハー用のアタッチメントだけが販売されていますので、ミラック光学製のエアーピットへの着脱が簡単にできるジョイント部品を一つ作れば、市販品を活用して一気にバリエーションを増やすことが可能になります。
- 村松：
なるほど、それは利便性がありますね！弊社としても、何十種類も金型から作っていたら初期投資が大変なことになりますが、中国で吸着アタッチメントの市販品をそのように活用できたら、高品質のエアーピット本体と接続して、安心してご利用頂けますね。
- 戴社長：
はい。半導体メーカーでは、その組み合わせがとても好評です。秘密保持契約の関係もあり、また工場内の立ち入りや写真撮影が制限されているため公開できませんが、私がデモンストレーションをした動画は以下の通りです。
- 村松：
確かに安定感も抜群ですね。市販品のウエハー用アタッチメントをバリエーション豊富に取り揃えることで、ウエハーのサイズに合わせて半導体メーカーや装置メーカーにいろいろな提案ができると思います。
- 戴社長：
その通りだと思います。これからも半導体関連への拡販に努めます。
- 村松：
日本国内や海外でも、特に微小部品などの取り扱いや吸着搬送にエアーピットはとても多く利用されていますが、中国ではいかがでしょうか？
- 戴社長：
中国でも、まさに現場作業の必需品として、通常のピンセットの代わりにミラック光学さんのエアーピットが良く利用されています。
- 村松：
吸着アタッチメントは、どのようなものに人気がありますか？
- 戴社長：
傷が付きやすいワークに対しては柔らかいテフロン製が、磁気を嫌うワークに対しては導電性 PEEK 製や導電性ゴムパッド製が、極小ワークや作業性を重要視する用途に対しては注射針式が、それぞれ人気があります。
微小部品や光学部品などの取り扱いの際には、本当に全般的に平均して人気がある印象です。- 村松：
なるほど。ありがとうございます。日本も中国も、傾向は同じですね。
- 村松：
今までのお話を纏めると、作業現場や検査工程でエアーピットが愛用されていることが理解できましたが、日本では検査装置メーカーで採用され、大量一括注文を頂くことが良くあります。中国では、いかがでしょうか？
- 戴社長：
中国では今のところ、残念ながらそうした受注には至っていません。つまり、作業や検査のハンドリングツールとしての用途のほかに、エアーピットの使い方があるということですか？
- 村松：
はい、そうなんです。例えば、ある電子部品の検査装置メーカーでは、１台の装置にエアーピットが1本備え付けてあり、ワークが検査工程内で目詰まりをしたりアクシデントがあった時、その極小部品をすぐに吸着除去できるようにしていらっしゃいます。そのような用途に対する販路もあるんですよ。
- 戴社長：
それは勉強になりました。
今までのような現場で使う用途のほかに、中国の検査装置メーカーに対して営業活動をしてみます。ありがとうございました。- 村松：
こちらこそ、ありがとうございました。
微小部品や光学部品などの取り扱い、吸着搬送の利用について
ミラック光学からの提案
ミラック光学・村松より
戴社長、本日は半導体関連から現場作業での利用に至るまで、中国でのエアーピットの利
用状況を教えて頂き、どうもありがとうございました。
東京と上海は時差が1時間ですので、戴社長とのZOOM会議での情報交換も頻繁に行うことができ、助かっています。
今回は、海外での弊社製品の事例として、半導体ウエハーや中国の現場作業・検査工程でのエアーピットの利用状況を詳しく知ることができました。
また、弊社製品の品質や耐久性に高い評価を頂き、海外でも認めて頂いていることが弊社にとって大変励みになりました。
これからも海外での事例を紹介できるように、また特注製作で独特の形状をした吸着アタッチメントなどもご紹介できるように、情報発信をしていきたいと思います。
上海常极精密机械有限公司（中国代理店）
上海市嘉定区翔江公路2338号201室
代表取締役：戴 湯祥
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